HSMS Communication
SEMI E37 TCP/IP 通訊。
FluxSECS
FluxSECS 提供 HSMS 傳輸、SECS-II 訊息處理與 GEM 整合能力，用於半導體設備通訊整合。
.NET Standard 2.0
.NET Framework 4.7.2 / .NET 6 / 8 / 10
E5
E37
E30
設備通訊整合能力
提供設備通訊整合所需的核心功能。
SECS-II Message Engine
SEMI E5 訊息處理。
GEM Integration
SEMI E30 設備整合。
模擬與文件
模擬工具與技術文件。